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無油干式真空泵的用戶大部分是由原先的油封真空泵、水環(huán)真空泵用戶轉(zhuǎn)換而來。那為什么越來越多的企業(yè)客戶要放棄原先的油封真空泵或水環(huán)真空泵，而選擇干式無油真空泵呢？

在干式無油真空泵沒有得到廣泛應(yīng)用之前，真空泵客戶使用的，無論是油封泵或者是水環(huán)泵，它們都是用油、水等介質(zhì)作為真空泵的工作介質(zhì)，在泵內(nèi)起冷卻、密封、潤(rùn)滑等多種作用。在常規(guī)領(lǐng)域，尤其是對(duì)返流、污染等情況不敏感或者要求不嚴(yán)格的前提下，油封泵、水環(huán)泵等有著明顯優(yōu)勢(shì)：生產(chǎn)企業(yè)品牌眾多，購(gòu)置成本較低，且能滿足真空性能要求等等。

但隨著真空應(yīng)用領(lǐng)域的擴(kuò)大以及一些工藝對(duì)清潔真空的嚴(yán)苛需求，在一些領(lǐng)域，原有的油封泵、水環(huán)泵及其組成的抽氣系統(tǒng)不可避免地出現(xiàn)了幾個(gè)需要解決的問題：

一、真空泵的工作介質(zhì)返流，污染被抽容器環(huán)境及產(chǎn)品。

在真空系統(tǒng)，尤其是高真空系統(tǒng)中，真空泵內(nèi)的氣體可能流返到被抽真空室內(nèi)。這種返流現(xiàn)象，發(fā)生在油封泵等非干式真空泵上，其中的工作介質(zhì)就會(huì)影響真空室的清潔環(huán)境，進(jìn)而影響產(chǎn)品的品質(zhì)、數(shù)量。傳統(tǒng)的油封泵等為了處理這種現(xiàn)象就需要增加額外的吸附、冷凝等設(shè)備配套，增加設(shè)備的維護(hù)成本。

二、工作介質(zhì)的變質(zhì)反應(yīng)，進(jìn)而侵蝕設(shè)備。

一些工藝過程的抽取介質(zhì)可能與工作介質(zhì)發(fā)生反應(yīng)，使真空泵內(nèi)的工作介質(zhì)變質(zhì)或發(fā)生侵蝕，使泵故障而無法正常工作。如油封泵的泵油乳化或研磨顆粒混入泵油，水環(huán)泵的工作液與介質(zhì)反應(yīng)形成酸液等等。

三、回收介質(zhì)污染。

在一些醫(yī)藥化工以及食品工業(yè)中，真空泵設(shè)備會(huì)用于有機(jī)溶劑的回收。此時(shí)油封真空泵與水環(huán)真空泵等都難以避免讓工作介質(zhì)與有機(jī)溶劑混合，造成污染，回收困難。此時(shí)就需要增加分離工藝以及相應(yīng)的成套設(shè)備，導(dǎo)致使用成本增加。

四、環(huán)境污染。

油封泵或者水環(huán)泵等雖然都可以直排大氣，但是因?yàn)槌槿〉慕橘|(zhì)都夾帶油液。為了應(yīng)對(duì)日益嚴(yán)峻的環(huán)保問題，減少對(duì)環(huán)境的污染，因此需要對(duì)排放介質(zhì)進(jìn)行處理，如水環(huán)真空泵的污水處理，一系列的設(shè)備與工藝部署就難以避免。

面對(duì)上述問題，干式無油真空泵卻能很好地予以解決。工作泵腔無油無水，既不會(huì)對(duì)真空室產(chǎn)生污染，更不會(huì)污染抽取介質(zhì)。且配套少，也可直排大氣。雖然短期的購(gòu)置投入成本超過傳統(tǒng)真空泵，但后期的使用維護(hù)成本，干式無油真空泵卻要遠(yuǎn)遠(yuǎn)低出，而且時(shí)間越久，后期成本差異就愈加明顯。

因此說，在一些工藝應(yīng)用上，例如氣相沉積、半導(dǎo)體蝕刻工藝以及食品醫(yī)藥化工的蒸餾干燥、溶劑回收等等，對(duì)清潔真空要求強(qiáng)烈的領(lǐng)域，干式無油真空泵方案要比傳統(tǒng)油泵更受企業(yè)青睞，也是越來越多的企業(yè)選擇干式無油真空泵的原因。