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  • 低溫真空泵應(yīng)用領(lǐng)域有哪些 低溫真空泵的特

    低溫真空泵應(yīng)用領(lǐng)域有哪些 低溫真空泵的特

    一、低溫真空泵的原理與結(jié)構(gòu)低溫真空泵是一種利用20K以下的低溫表面凝聚吸附氣體的真空泵,又叫冷泵、冷凝泵,一般是以低溫液體(液氮或液氦)或低溫制冷機(jī)為冷源。二、低溫真空泵應(yīng)用領(lǐng)域有哪些低溫泵適合用于需要高真空度的領(lǐng)域,尤其適合應(yīng)用于要求潔凈無油或快速抽氣的場合,例如半導(dǎo)體與集成電路前工序、光學(xué)鍍膜、太陽能電池板、光電子......

    2022-12-08 1418